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來自： leafcho > 《半導(dǎo)體-電子》
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SMIC員工漫談半導(dǎo)體代工企業(yè)內(nèi)幕
而所謂干蝕刻，則是利用干蝕刻機臺產(chǎn)生電漿，將所欲蝕刻之薄膜反映產(chǎn)生氣體由PUMP抽走，達到圖案定義之目的。137 PLASMA ETCHING 電將蝕刻 1.定義：在干蝕刻技術(shù)中，一班多采用電漿蝕刻與活性離子蝕刻...
0.18 LOGIC FLOW一百問
10：在STI CMP后OXIDE的表面要比NITRIDE 的低？為什么要去除PAD OX后才長SAC OX ，而不直接用PAD OX？A：因為經(jīng)過上面一系列的PROCESS，SILICON的SURFACE會有很多DAMAGE，PAD OX 損傷也很嚴重，因此要...
5、干貨！掌握這兩個電壓（Vdc&Vpp），就理解了DRY ETCH微觀原理
掌握這兩個電壓（Vdc&Vpp），就理解了DRY ETCH微觀原理。前面已經(jīng)向大家介紹DRY ETCH的宏觀原理，這一節(jié)通過介紹兩個電壓參數(shù)（Vdc&...
TFT制程分析之Dry Etch
TFT制程分析之Dry Etch.說起Dry Etch（以下簡稱DE又或者是干刻）這個制程，我們先來看看刻蝕是啥玩意：Plasma，是一種電離氣體（自由電...
半導(dǎo)體FAB里基本常識簡介
半導(dǎo)體FAB里基本常識簡介晶圓制造廠非常昂貴的原因之一，是需要一個無塵室，為何需要無塵室?答：機臺上interlock有些屬于保護操作人員的安全,有些屬于水電氣等規(guī)格訊號,用以保護機臺.機臺設(shè)定許多inter...
S71200 -1500指令說明和舉例CMP ：大于
CMP>：大于(S7-1200,S7-1500)有關(guān)LAD的基本信息存儲區(qū)(S7-1200)-3-
蝕刻（Etch）工藝流程講解
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華海清科科普：CMP設(shè)備難在哪里？作為國內(nèi)領(lǐng)先的供應(yīng)商，華海清科的核心研發(fā)團隊起源于清華大學(xué)摩擦學(xué)國家重點實驗室，當(dāng)時是承擔(dān) 02 重...
微信掃碼，在手機上查看選中內(nèi)容
