【內(nèi)容提要】MEMS在消費(fèi)電子產(chǎn)品中的應(yīng)用進(jìn)一步得到普及，多傳感集成將成為MEMS發(fā)展的必然趨勢(shì)。賽迪顧問(wèn)研究認(rèn)為，國(guó)內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)將進(jìn)入加速發(fā)展階段，MEMS創(chuàng)新技術(shù)孵化器有助于MEMS中小企業(yè)在新應(yīng)用領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，助力企業(yè)成長(zhǎng)與發(fā)展，幫助形成產(chǎn)業(yè)的集聚效應(yīng)；同時(shí)，設(shè)立MEMS產(chǎn)業(yè)投資并購(gòu)基金一方面可以扶持培育中小型企業(yè)，幫助他們解決資金不足的問(wèn)題，進(jìn)而推動(dòng)MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。另一方面可以鼓勵(lì)國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的MEMS本土企業(yè)并購(gòu)國(guó)際龍頭MEMS企業(yè)，幫助我國(guó)本土企業(yè)快速提升自身技術(shù)研發(fā)能力，加速我國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展進(jìn)程。

【關(guān)鍵詞】MEMS傳感器物聯(lián)網(wǎng)

目前全球MEMS市場(chǎng)規(guī)模已經(jīng)逼近150億美元，隨著MEMS在可穿戴設(shè)備、VR/AR等消費(fèi)類產(chǎn)品中應(yīng)用滲透率高速增長(zhǎng)的影響，美國(guó)MEMS市場(chǎng)實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)增長(zhǎng)；歐洲MEMS市場(chǎng)也在汽車工業(yè)的帶動(dòng)下保持活力；亞太MEMS市場(chǎng)在智能手機(jī)、平板電腦、可穿戴設(shè)備等電子產(chǎn)品產(chǎn)量大幅提高的帶動(dòng)下，規(guī)模進(jìn)一步擴(kuò)大。相比之下，中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)尚處于起步階段，與連續(xù)三年高增長(zhǎng)的市場(chǎng)不相匹配。旺盛的市場(chǎng)需求與相對(duì)薄弱的產(chǎn)業(yè)形成反差，具有一定知名度和出貨量的本土MEMS企業(yè)仍然屈指可數(shù)，逐鹿中國(guó)市場(chǎng)的主要競(jìng)爭(zhēng)者仍以跨國(guó)企業(yè)為主。

一、物聯(lián)網(wǎng)熱潮為MEMS市場(chǎng)創(chuàng)造巨大需求

（一）物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展，傳感器成為發(fā)展核心

目前，我國(guó)物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展與全球同處于起步階段，初步具備了一定的技術(shù)、產(chǎn)業(yè)和應(yīng)用基礎(chǔ)，呈現(xiàn)出良好的發(fā)展態(tài)勢(shì)。2016年我國(guó)整體物聯(lián)網(wǎng)的市場(chǎng)規(guī)模有望突破9000億元。近幾年我國(guó)物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的綜合增長(zhǎng)率達(dá)到了30%以上，充分體現(xiàn)了其強(qiáng)勁的發(fā)展勢(shì)頭。物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)中的關(guān)鍵技術(shù)之一就是傳感器技術(shù)，MEMS傳感器已經(jīng)廣泛應(yīng)用于物聯(lián)網(wǎng)中的各個(gè)領(lǐng)域。隨著物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，各類終端產(chǎn)品的數(shù)量將達(dá)到100億以上的規(guī)模，對(duì)MEMS傳感器的市場(chǎng)需求也將迅速增加。2016年，中國(guó)MEMS市場(chǎng)規(guī)模繼續(xù)保持高速增長(zhǎng)，有望突破350億元。中國(guó)智能手機(jī)、平板電腦、可穿戴設(shè)備等MEMS應(yīng)用整機(jī)產(chǎn)品產(chǎn)量保持穩(wěn)定增長(zhǎng)，帶動(dòng)加速傳感器、陀螺儀、硅麥克風(fēng)等產(chǎn)品需求的增長(zhǎng)。與此同時(shí)，上述整機(jī)產(chǎn)品中，加速度傳感器、陀螺儀、硅麥克風(fēng)等的滲透率進(jìn)一步提高對(duì)MEMS市場(chǎng)規(guī)模的擴(kuò)大也起到重要作用。另外，中國(guó)汽車工業(yè)的增長(zhǎng)也推動(dòng)了壓力傳感器、微機(jī)械陀螺儀等MEMS主力產(chǎn)品市場(chǎng)的增長(zhǎng)。

（二）消費(fèi)領(lǐng)域全面普及，MEMS持續(xù)高速增長(zhǎng)

現(xiàn)在，越來(lái)越多的MEMS傳感器被應(yīng)用到手機(jī)中來(lái)提高手機(jī)的用戶體驗(yàn)。高端手機(jī)普遍已經(jīng)裝配有加速度傳感器、壓力傳感器、陀螺儀、硅麥克風(fēng)、指紋傳感器、距離傳感器，環(huán)境光傳感器、磁傳感器等數(shù)種MEMS產(chǎn)品。在可穿戴產(chǎn)品中MEMS器件的應(yīng)用也越來(lái)越廣泛，如測(cè)量運(yùn)動(dòng)記錄步數(shù)的加速度傳感器、進(jìn)行心率監(jiān)控的心率監(jiān)控傳感器、測(cè)量血氧值的血氧傳感器、感知海拔高度變化的氣壓傳感器等等?？梢哉f(shuō)，慣性傳感器已經(jīng)成為了智能手機(jī)、平板電腦和可穿戴設(shè)備的標(biāo)配，并且其他各種類型的MEMS傳感器在消費(fèi)電子領(lǐng)域的應(yīng)用正在逐步普及。目前，仍在研發(fā)的新產(chǎn)品也都在手機(jī)等消費(fèi)電子領(lǐng)域試水，而在數(shù)碼相機(jī)中使用MEMS器件加強(qiáng)防抖功能，在攝像機(jī)、筆記本電腦等中使用硅麥克風(fēng)已經(jīng)成為常態(tài)，未來(lái)將有更多的MEMS器件進(jìn)駐消費(fèi)電子產(chǎn)品，而原來(lái)只在高端產(chǎn)品出現(xiàn)的地磁場(chǎng)傳感器、射頻器件等將擴(kuò)散到中低端產(chǎn)品中去。

（三）多傳感集成技術(shù)成熟，成為產(chǎn)業(yè)發(fā)展必然趨勢(shì)

隨著人們生活應(yīng)用的不斷豐富，傳感器感測(cè)多個(gè)物理信號(hào)的功能需求也變的越來(lái)越多，多種傳感集成的MEMS器件也應(yīng)運(yùn)而生。如今，慣性傳感器已經(jīng)出現(xiàn)了三軸、六軸、九軸甚至十軸的集成模塊，將MEMS加速度傳感器、陀螺儀、磁傳感器等MEMS器件集成在一起，以滿足生產(chǎn)廠商更小體積、更低成本的要求，同時(shí)給予了用戶更加豐富的用戶體驗(yàn)。法國(guó)知名市場(chǎng)研究機(jī)構(gòu)Yole Développement于2016年3月份提出了未來(lái)三大傳感器集成方向：密閉封裝集成傳感器、開(kāi)放腔體集成傳感器和光學(xué)窗口集成傳感器。這三大集成方向無(wú)論從生產(chǎn)端還是用戶端都在逐漸滿足越來(lái)越多新出現(xiàn)的需求，由此可見(jiàn)，多傳感集成已經(jīng)成為未來(lái)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的一種必然趨勢(shì)。

二、我國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展面臨多方面挑戰(zhàn)

（一）關(guān)鍵技術(shù)需要突破，產(chǎn)品結(jié)構(gòu)有待改善

目前我國(guó)MEMS傳感器產(chǎn)品在精度和敏感度等性能指標(biāo)上與國(guó)外存在巨大差距，應(yīng)用范圍也多局限于傳統(tǒng)領(lǐng)域。中高檔傳感器產(chǎn)品幾乎100%從國(guó)外進(jìn)口，90%的芯片依賴國(guó)外。從MEMS產(chǎn)業(yè)的設(shè)計(jì)、制造和封裝三個(gè)環(huán)節(jié)來(lái)看，國(guó)內(nèi)缺乏對(duì)MEMS相關(guān)關(guān)鍵技術(shù)的自主研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化能力。我國(guó)尚無(wú)一套有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的傳感器設(shè)計(jì)軟件，國(guó)產(chǎn)傳感器可靠性也遠(yuǎn)不如國(guó)外同類產(chǎn)品；MEMS制造能力更為薄弱，國(guó)內(nèi)具備一定規(guī)模的設(shè)計(jì)企業(yè)基本選擇國(guó)外代工廠，而多數(shù)小型設(shè)計(jì)企業(yè)選擇與科研院所的中試線綁定，這就導(dǎo)致產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程相對(duì)緩慢；我國(guó)的MEMS封裝尚未形成系列、標(biāo)準(zhǔn)和統(tǒng)一接口。

由于我國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)起步較晚，我國(guó)的MEMS傳感器產(chǎn)品多處于技術(shù)相對(duì)成熟、市場(chǎng)格局相對(duì)穩(wěn)定的傳統(tǒng)MEMS應(yīng)用領(lǐng)域，而新興領(lǐng)域的MEMS產(chǎn)品在測(cè)量精度、溫度特性、響應(yīng)時(shí)間、穩(wěn)定性、可靠性等方面與國(guó)外差距較大，尚未形成具有市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力、較為完善的產(chǎn)品系列，產(chǎn)品結(jié)構(gòu)略顯單薄。

（二）缺少代工服務(wù)平臺(tái)，初創(chuàng)企業(yè)發(fā)展艱難

隨著物聯(lián)網(wǎng)時(shí)代的逐步到來(lái)，傳感器現(xiàn)正被廣泛應(yīng)用于包括各類智能終端、智能汽車、生物醫(yī)療等在內(nèi)的眾多新興領(lǐng)域，需求量與日俱增。但新興領(lǐng)域的MEMS創(chuàng)新應(yīng)用存在一定的局限性，現(xiàn)在仍然處于市場(chǎng)前景不明朗的初期階段，存在產(chǎn)品量產(chǎn)風(fēng)險(xiǎn)大等問(wèn)題。因此，小批量的中試生產(chǎn)現(xiàn)在已經(jīng)成為MEMS產(chǎn)業(yè)界推出新產(chǎn)品的必由之路。

此外，由于MEMS產(chǎn)品具有“一種產(chǎn)品，一種工藝”的特點(diǎn)，新產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)必須與配套工藝緊密結(jié)合，這就要求代工廠的設(shè)備和工藝具有定制化特性。MEMS產(chǎn)品的另外一個(gè)特點(diǎn)是種類多、總量小，因此小批量的訂單使得大型代工企業(yè)不愿投入過(guò)多精力進(jìn)行技術(shù)的升級(jí)改造，以至于不愿接受MEMS初創(chuàng)企業(yè)的中試需求。然而，我國(guó)的MEMS設(shè)計(jì)環(huán)節(jié)現(xiàn)在尚處于起步階段，相關(guān)企業(yè)正呈現(xiàn)出“小、散、弱”的局面，企業(yè)的發(fā)展也在受到技術(shù)、資金、客戶等諸多因素影響，企業(yè)研發(fā)的新型產(chǎn)品更是被國(guó)內(nèi)MEMS代工服務(wù)平臺(tái)的缺乏所制約，導(dǎo)致產(chǎn)品的迭代周期延長(zhǎng)，錯(cuò)過(guò)應(yīng)用市場(chǎng)需求強(qiáng)烈的最佳時(shí)期。

三、結(jié)合發(fā)展要素加速M(fèi)EMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展進(jìn)程

（一）MEMS創(chuàng)新技術(shù)孵化器將推動(dòng)MEMS產(chǎn)品加速開(kāi)拓新興市場(chǎng)

孵化器作為一種有效促進(jìn)新興產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展的工具，已經(jīng)在全世界包括中國(guó)的部分城市和區(qū)域得到了廣泛應(yīng)用和推廣，其重要作用也愈發(fā)突出。一方面孵化器可以孵育一批具有創(chuàng)新能力的初創(chuàng)企業(yè)，特別是為具備科技創(chuàng)新能力的中小企業(yè)提供了發(fā)展的土壤，幫助他們將其研究和技術(shù)往商品化、市場(chǎng)化方向進(jìn)行轉(zhuǎn)化；同時(shí)孵化器還在一定程度上承擔(dān)了保障技術(shù)創(chuàng)新研發(fā)、激發(fā)企業(yè)發(fā)展活力，加速新興產(chǎn)業(yè)集聚等新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展要素的重任。

我國(guó)MEMS市場(chǎng)雖然需求旺盛，但是MEMS產(chǎn)業(yè)還處于發(fā)展的起步階段，國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)規(guī)模相對(duì)較小，MEMS企業(yè)也多屬于初創(chuàng)類中小型企業(yè)，存在著分布比較分散、資金不足、科研能力和吸引人才的能力較弱、企業(yè)與高校及科研院所合作少等問(wèn)題。而MEMS領(lǐng)域的孵化器可以有效解決這些問(wèn)題，以MEMS中小企業(yè)為服務(wù)對(duì)象，建立一些制造和測(cè)試環(huán)節(jié)的公共服務(wù)平臺(tái)，為入駐孵化企業(yè)提供一系列的服務(wù)支持，降低創(chuàng)業(yè)者的創(chuàng)業(yè)風(fēng)險(xiǎn)和創(chuàng)業(yè)成本，提高創(chuàng)業(yè)成功率，促進(jìn)MEMS創(chuàng)新技術(shù)成果轉(zhuǎn)化，尤其是支持MEMS中小企業(yè)在新應(yīng)用領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，助力企業(yè)成長(zhǎng)與發(fā)展，幫助形成產(chǎn)業(yè)的集聚效應(yīng)，加速我國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展進(jìn)程。

（二）產(chǎn)業(yè)投資基金成為資本助力MEMS產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)跨越的重要途徑

產(chǎn)業(yè)投資基金的成立有利于促進(jìn)高科技產(chǎn)業(yè)和新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。產(chǎn)業(yè)投資基金具有風(fēng)險(xiǎn)共擔(dān)、收益共享的優(yōu)勢(shì)，是支持科技發(fā)展事業(yè)，提高產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的科技含量，實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)集約化發(fā)展的有效途徑。2014年6月，1388億元規(guī)模的國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金成立，用于促進(jìn)我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。大基金成立2年來(lái)已經(jīng)有效決策項(xiàng)目35個(gè)，涉及26家集成電路企業(yè)，完成有效承諾投資額超過(guò)600億元，成功帶動(dòng)起全國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的積極性，為我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)營(yíng)造了良好的發(fā)展環(huán)境。

我國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展應(yīng)當(dāng)借鑒集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金的相關(guān)經(jīng)驗(yàn)，強(qiáng)化政府引導(dǎo)，積極聯(lián)合各界社會(huì)資本，設(shè)立MEMS產(chǎn)業(yè)投資基金。一方面，與大基金略有區(qū)別的是，鑒于MEMS產(chǎn)業(yè)處于起步階段的發(fā)展特點(diǎn)，MEMS產(chǎn)業(yè)投資基金應(yīng)該瞄準(zhǔn)初創(chuàng)型項(xiàng)目，扶持培育中小型企業(yè)健康發(fā)展，幫助他們解決資金不足的問(wèn)題，進(jìn)而推動(dòng)MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。另一方面，鼓勵(lì)國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的MEMS本土企業(yè)并購(gòu)國(guó)際上在MEMS新興領(lǐng)域具有優(yōu)勢(shì)技術(shù)的龍頭企業(yè)，幫助我國(guó)本土企業(yè)通過(guò)吸收他們的先進(jìn)技術(shù)來(lái)提升在MEMS新興領(lǐng)域的相關(guān)技術(shù)水平，從而提高我國(guó)本土MEMS產(chǎn)品的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力，實(shí)現(xiàn)我國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)在新興領(lǐng)域的龍頭地位。